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原子層沉積系統(tǒng)
簡(jiǎn)要描述：原子層沉積系統(tǒng)深圳市科晶智達(dá)科技有限公司2001年成立于深圳，是一家聚焦服務(wù)于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門(mén)的國(guó)家技術(shù)企業(yè)，長(zhǎng)期致力于打造安全、高效、智能的實(shí)驗(yàn)研發(fā)一站式服務(wù)平臺(tái)，為科學(xué)研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。深圳科晶與美國(guó)MTI、合肥科晶、沈陽(yáng)科晶同屬M(fèi)TI-科晶聯(lián)盟，目前已經(jīng)搭建輻射的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，精心為科學(xué)家們的實(shí)驗(yàn)室提供交鑰匙工程解決方案。
產(chǎn)品型號(hào)： MSK-PSE-ALD1010
所屬分類：鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備
更新時(shí)間：2024-11-06
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統(tǒng)
功能特點(diǎn) |
|---|
外熱式反應(yīng)腔體，加熱結(jié)構(gòu)在真空室外，反應(yīng)腔室維護(hù)保養(yǎng)無(wú)需拆卸腔室加熱器或樣品臺(tái)加熱器；
配有可拆卸片托，支持100mm*100mm方片及以下尺寸的樣品；
3路前驅(qū)體源系統(tǒng)（包括2路金屬源和1路水源）；
高性能真空系統(tǒng)和殘余前驅(qū)體源處理熱阱；
自動(dòng)控制沉積系統(tǒng)和工藝壓力實(shí)時(shí)檢測(cè)顯示；
可置于手套箱底部與手套箱對(duì)接；
可視化的操作界面，實(shí)時(shí)顯示系統(tǒng)各部分運(yùn)行狀態(tài)，可方便的調(diào)節(jié)溫度、流量、脈沖時(shí)間等參數(shù)，編輯并保存配方參數(shù)；
多用戶權(quán)限分配，軟硬件互鎖，異常報(bào)警、緊急停機(jī)等功能確保安全性；
沉積模式可設(shè)為連續(xù)模式或停流模式；
外置移動(dòng)支架顯示器操作。
MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統(tǒng)
| 技術(shù)參數(shù) | ||
|---|---|---|
| 電源 | 三相五線制AC380V±10%，頻率50Hz/60Hz，功率約12KW | |
| 反應(yīng)腔體 | 腔室 | 外熱式單腔腔室 |
| 樣品尺寸 | 最大100mm*100mm方片及以下尺寸 | |
| 反應(yīng)溫度 | 最高150℃ | |
| 前驅(qū)體源系統(tǒng) | 金屬源 | 2路標(biāo)準(zhǔn)加熱前驅(qū)體源 配置Swagelok高溫快速ALD閥（響應(yīng)時(shí)間＜10ms）、手動(dòng)隔膜閥和50mL不銹鋼源瓶 源瓶及管路加熱溫度室溫至200℃ |
| 水源 | 1路水源 配置Swagelok高溫快速ALD閥（響應(yīng)時(shí)間＜10ms）、手動(dòng)球閥和50mL不銹鋼源瓶 | |
| 載氣系統(tǒng) | 2路載氣系統(tǒng) 全套管路+VCR密封，前驅(qū)體源管路具有在線清洗功能 | |
| 真空系統(tǒng) | 極限真空 | 小于5×10-3Torr |
| 真空漏率 | 小于5×10-7Pa·L/s | |
| 真空泵抽速 | 40m3/h | |
| 其他配置 | 真空泵前級(jí)配置熱阱，加熱溫度最高600℃,控制精度±1℃,用于吸附、分解未反應(yīng)的前驅(qū)體源 | |
| 真空計(jì) | 真空計(jì)前設(shè)有保護(hù)真空計(jì)的高效過(guò)濾網(wǎng)，沉積過(guò)程中可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)顯示腔室壓力的變化 | |
| 主機(jī) | PLC+4U工控機(jī)+顯示器 | |
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